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标准简介
国家标准《硅单晶抛光试验片规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位宁波立立电子股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司。
主要起草人宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容等 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 26065-2010
- 发布日期
- 2011-01-10
- 实施日期
- 2011-10-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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