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标准简介
行业标准《碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院。
主要起草人丁丽 、周智慧 、蔺娴等 。
标准基本信息
- 标准号
- SJ/T 11504-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
备案信息
备案号：50561-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
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