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标准简介
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
主要起草人孙燕 、卢立延 、徐新华 、张海英 、楼春兰 、杨素心 、潘金平 、张雪囡 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 12964-2018
- 发布日期
- 2018-09-17
- 实施日期
- 2019-06-01
- 全部代替标准
- GB/T 12964-2003
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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