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标准简介
国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
主要起草人陈小龙 、彭同华 、佘宗静 、王波 、刘春俊 、李素青 、郭钰 、娄艳芳 、郑红军 、杨建 、骆红 、钮应喜 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 30656-2023
- 发布日期
- 2023-03-17
- 实施日期
- 2023-10-01
- 全部代替标准
- GB/T 30656-2014
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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