(CMA)
(CNAS)
(ISO)
(高新技术企业)
标准简介
行业标准《碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。
主要起草人丁丽 、何友琴 、郑红军等 。
标准基本信息
- 标准号
- SJ/T 11503-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
备案信息
备案号：50560-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
相近标准
- SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
- 20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法
- GB/T 13288.3-2009 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第3部分：ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法 显微镜调焦法
- GB/T 13288.4-2013 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第4部分：ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法 触针法
- GB/T 13288.1-2008 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第1部分: 用于评定喷射清理后钢材表面粗糙度的ISO表面粗糙度比较样块的技术要求和定义
- SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
- GB/T 13288.5-2009 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第5部分：表面粗糙度的测定方法 复制带法
- GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
- JB/T 7976-1995 轮廓法测量表面粗糙度的仪器 术语
我们的实力
部分实验仪器
合作客户
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
