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标准简介
国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）、全国有色金属标准化技术委员会联合归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位峨嵋山半导体材料厂。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 11073-2007
- 发布日期
- 2007-09-11
- 实施日期
- 2008-02-01
- 全部代替标准
- GB/T 11073-1989
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国有色金属标准化技术委员会
- 副归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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