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标准简介

国家标准《硅片厚度和总厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京有研半导体材料股份有限公司。

主要起草人卢立延 、孙燕 、杜娟 。

标准基本信息

标准号
GB/T 6618-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 6618-1995
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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