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标准简介
国家标准计划《硅片径向电阻率变化测量方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位麦斯克电子材料股份有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、南京国盛电子有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、浙江海纳半导体有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海合晶硅材料有限公司、乐山市产品质量监督检验所、有研半导体硅材料股份公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20233945-T-610
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2023-12-28
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国有色金属工业协会
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