微机电系统(MEMS)技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法

发布时间:2025-01-24 09:23:53 阅读量: 来源:中析研究所

标准简介

国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京智芯微电子科技有限公司、电子科技大学、中机生产力促进中心有限公司、江苏甫瑞微纳传感科技有限公司、苏州含光微纳科技有限公司、苏州捷研芯电子科技有限公司等。

标准基本信息

计划号
20243541-T-469
制修订
制定
项目周期
16个月
下达日期
2024-12-31
标准类别
方法
国际标准分类号
31.080.99
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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检测标准 微机电系统(MEMS)技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法

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