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标准简介
国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京智芯微电子科技有限公司、电子科技大学、中机生产力促进中心有限公司、江苏甫瑞微纳传感科技有限公司、苏州含光微纳科技有限公司、苏州捷研芯电子科技有限公司等。
标准基本信息
- 计划号
- 20243541-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2024-12-31
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 31.080.99
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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