(CMA)
(CNAS)
(ISO)
(高新技术企业)
标准简介
国家标准计划《氮化铝单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京大学、深圳大学、中国电子科技集团公司第十三研究所。
标准基本信息
- 计划号
- 20240138-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 18个月
- 下达日期
- 2024-03-25
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
相近标准
- 20243062-T-469 金刚石单晶抛光片
- 20240142-T-469 蓝宝石单晶衬底抛光片
- 20241934-T-469 太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片
- 20240136-T-469 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法
- 20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法
- SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范
- GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片
- SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
- GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
- GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片
我们的实力
部分实验仪器
合作客户
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
