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标准简介
国家标准计划《蓝宝石单晶衬底抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位天通银厦新材料有限公司、徐州凯成科技有限公司、徐州美兴光电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所。
标准基本信息
- 计划号
- 20240142-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2024-03-25
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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