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标准简介
国家标准计划《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院半导体研究所、德州学院、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、江苏卓远半导体有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、吉林大学、安徽光智科技有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20240136-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 18个月
- 下达日期
- 2024-03-25
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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