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标准简介
国家标准《表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位清华大学、中国石油大学（北京）。
主要起草人姚文清 、段建霞 、杨立平 、王雅君 、李展平 、徐同广 、王岩华 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 41064-2021
- 发布日期
- 2021-12-31
- 实施日期
- 2022-07-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 归口单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17109:2015。
采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法。
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