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标准简介
国家标准计划《表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位中石化石油化工科学研究院有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20240005-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2024-03-25
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 归口单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
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