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标准简介
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所。
主要起草人马农农 、何友琴 、陈潇 、张鑫 、王东雪 、李展平 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 40109-2021
- 发布日期
- 2021-05-21
- 实施日期
- 2021-12-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 归口单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17560:2014。
采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法。
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