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标准简介
国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司。
主要起草人薛抗美 、黄修康 、杭寅 、尹继刚 、田野 、张永波 、张毅 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 33763-2017
- 发布日期
- 2017-05-31
- 实施日期
- 2017-12-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H25
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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