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标准简介
国家标准《氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
主要起草人曾雄辉 、张燚 、董晓鸣 、牛牧童 、刘争晖 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 32282-2015
- 发布日期
- 2015-12-10
- 实施日期
- 2016-11-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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