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标准简介

行业标准《低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等。

主要起草人章安辉 、何秀坤 、刘兵等 。

标准基本信息

标准号
SJ/T 11489-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类

备案信息

备案号:50546-2015。

备案公告: 2015年第7号 。

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