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标准简介
国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位电子十一所。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 11297.6-1989
- 发布日期
- 1989-03-31
- 实施日期
- 1990-01-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- L32
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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