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标准简介
国家标准《电子工业用气体 六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。
主要起草人郑秋艳 、江海风 、王占卫 、方兰兰 、林竹光 、王志信 、方华 、杨仁 、周鹏云 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 32386-2015
- 发布日期
- 2015-12-31
- 实施日期
- 2016-07-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
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