电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法

标准简介

地方标准《电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法》由福建省化学工业气体标准化技术委员会归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。

主要起草单位国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）。

主要起草人林宇巍 、陈熔 、陈华 、邹震 、林永荣 、张凤利 、陈小娟 、叶树海 、郑江琳 。

标准基本信息

标准号

DB35/T 1248-2012

发布日期

2012-05-04

实施日期

2012-08-05

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.040.40

归口单位

福建省化学工业气体标准化技术委员会

主管部门

福建省质量技术监督局

行业分类

制造业

备案信息

备案号：35487-2013。

备案公告： 2013年第1号 。

适用范围

本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。

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