电子工业用气体 三氟化硼
发布时间：2025-02-24 07:03:59
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。
主要起草人邓建平 、倪志强 、孙福楠 、周鹏云 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 14603-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-05-01
- 全部代替标准
- GB/T 14603-1993
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
