电子气体六氟化硫20231011-T-469-中析研究所检测

(CMA)

(CNAS)

(ISO)

(高新技术企业)

标准简介

国家标准计划《电子气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、福建永晶科技股份有限公司、上海上芃电气有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、南大光电（淄博）有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、广东电网有限责任公司电力科学研究院、国网山东省电力公司电力科学研究院、深圳供电局有限公司、国网湖南省电力有限公司电力科学研究院、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人陈兴龙、汤月贞、陈施华、林德荣、史婉君、钟卉菲、刘春花、李文、陈凯、史兰、黄秀荣、张艳志、张露露、陈艳珊、吕磊、谢世鹏、郭琼、孙福楠、依俊廷、杜雨桐、方华、黄辉、杨金山、鲍光强、王大为、李明、谈益强、尹乐乐、赵洁、唐念、李丽、齐国栋、唐峰、吴俊杰、何波、唐中伟、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅。