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标准简介
国家标准计划《电子气体 六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司等。
标准基本信息
- 计划号
- 20243664-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 12个月
- 下达日期
- 2024-12-31
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
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