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标准简介

国家标准《锑化铟多晶、单晶及切割片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位峨嵋半导体材料厂。

主要起草人王炎 、何兰英 、张梅 。

标准基本信息

标准号
GB/T 11072-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 11072-1989
标准类别
产品
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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