锑化铟多晶、单晶及切割片
发布时间:2025-04-21 18:23:05
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来源:中析研究所
标准简介
国家标准《锑化铟多晶、单晶及切割片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位峨嵋半导体材料厂。
主要起草人王炎 、何兰英 、张梅 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 11072-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-06-01
- 全部代替标准
- GB/T 11072-1989
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委