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标准简介

国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、有研半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、无锡华润上华科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司。

主要起草人骆红 、潘文宾 、杨素心 、赵扬 、赵而敬 、张佳磊 、李慎重 、黄黎 、严琴 、黄宇程 、皮坤林 。

标准基本信息

标准号
GB/T 14146-2021
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
全部代替标准
GB/T 14146-2009
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

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