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标准简介
行业标准《硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。
标准基本信息
相近标准
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- YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
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- GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
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注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
