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标准简介
国家标准计划《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位浙江金瑞泓科技股份有限公司、金瑞泓科技（衢州）有限公司、金瑞泓微电子（衢州）有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心、上海优睿谱半导体设备有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20240143-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2024-03-25
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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