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标准简介
行业标准《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司。
主要起草人马林宝 、杨帆 、葛华等 。
标准基本信息
- 标准号
- YS/T 14-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 全部代替标准
- YS/T 14-1991
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
备案信息
备案号：50403-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
适用范围
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
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