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标准简介
国家标准《电子工业用气体 六氟乙烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。
主要起草人史婉君 、廖恒易 、杜汉盛 、白占旗 、方正 、潘义 、牛艳东 、方华 、王鸿 、陈熔 、林宇巍 、邓建平 、李健 、周鹏云 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 34091-2017
- 发布日期
- 2017-07-31
- 实施日期
- 2017-11-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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