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标准简介
国家标准《碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。
主要起草人丁丽 、周智慧 、郝建民 、蔺娴等 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 30867-2014
- 发布日期
- 2014-07-24
- 实施日期
- 2015-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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