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标准简介
行业标准《电子工业用气体 一氧化碳》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等。
主要起草人万华 、王新鹏 、吴平修等 。
标准基本信息
- 标准号
- SJ/T 11517-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
备案信息
备案号：50574-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
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