电子工业用气体 砷化氢
发布时间：2025-01-31 04:09:18
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《电子工业用气体 砷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。
主要起草人孙福楠 、方华 、周鹏云 、庄鸿涛等 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 26250-2010
- 发布日期
- 2011-01-14
- 实施日期
- 2011-05-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
