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标准简介
国家标准《电子工业用气体 硅烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司。
主要起草人余京松 、杨智敏 、傅铸红 、杜汉盛 、孙福楠 、牛艳东 、李长富 、周朋云 、曲庆 、方华 、陈鹰 、常侠 、刘晓霞 、周延江 、高平洲 、徐昕 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 15909-2017
- 发布日期
- 2017-05-31
- 实施日期
- 2017-12-01
- 全部代替标准
- GB/T 15909-2009
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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