国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位天津半导体技术研究所。
本标准非等效采用其他国际标准：SEMI M3:1983。
采标中文名称:。
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