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标准简介
国家标准《200mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院。
主要起草人马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 35310-2017
- 发布日期
- 2017-12-29
- 实施日期
- 2018-07-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
相近标准
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