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标准简介
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位洛阳中硅高科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、上海亿钶气体有限公司、南京国盛电子有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、武汉新硅科技潜江有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、昊华气体有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、青海中航硅材料有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、江西晨光新材料股份有限公司。
主要起草人万烨 、赵雄 、严大洲 、刘见华 、张园园 、李素青 、李建新 、李飞明 、冯永平 、孙任靖 、张斌 、顾广安 、于生海 、邓远红 、徐岩 、李楷东 、刘文明 、李明达 、付梦月 、邱艳梅 、边红利 、史隽涛 、梁秋鸿 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 30652-2023
- 发布日期
- 2023-08-06
- 实施日期
- 2024-03-01
- 全部代替标准
- GB/T 30652-2014
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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