半导体器件 微电子机械器件 第2部分:薄膜材料拉伸试验方法

发布时间:2024-11-19 16:02:14 阅读量: 来源:中析研究所

标准简介

国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第2部分:薄膜材料拉伸试验方法》由339-1(工业和信息化部(电子))归口,主管部门为工业和信息化部(电子)。拟实施日期:发布即实施。

主要起草单位河北美泰电子科技有限公司、中国电科产业基础研究院。

主要起草人梁彦青 、罗蓉 、姚世婷 、周明琴 、刘聪聪 、杨拥军 、吝海锋 。

标准基本信息

计划号
20204116-T-339
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2020-11-19
标准类别
方法
中国标准分类号
L40
国际标准分类号
31.200
归口单位
工业和信息化部(电子)
执行单位
工业和信息化部(电子)
主管部门
工业和信息化部(电子)

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检测标准 半导体器件 微电子机械器件 第2部分:薄膜材料拉伸试验方法

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