氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
发布时间：2025-01-24 00:41:34
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
主要起草人郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 36705-2018
- 发布日期
- 2018-09-17
- 实施日期
- 2019-06-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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