(CMA)
(CNAS)
(ISO)
(高新技术企业)
标准简介
国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。
主要起草人邱永鑫 、任国强 、刘争晖 、曾雄辉 、王建峰 、陈小龙 、王文军 、郑红军 、徐科 、赵松彬 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 32188-2015
- 发布日期
- 2015-12-10
- 实施日期
- 2016-11-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
相近标准
- GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
- GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
- YS/T 1653-2023 氮化镓衬底片
- SJ/T 11396-2009 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片
- GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
- GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
- GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
- GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
- 20231111-T-469 半导体单晶材料透过率测试方法
- 20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法
我们的实力
部分实验仪器
合作客户
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
