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标准简介
国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学。
主要起草人李海斌 、崔波 、刘伟 、石云波 、裘安萍 、施芹 、杨拥军 、刘冲 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 32817-2016
- 发布日期
- 2016-08-29
- 实施日期
- 2017-03-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.080.99
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
采标情况
本标准修改采用IEC国际标准：IEC 62047-4:2008。
采标中文名称:半导体器件 微机电装置 第4部分:MEMS总规范。
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