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标准简介
国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京晨晶电子有限公司、中机生产力促进中心有限公司等。
标准基本信息
- 计划号
- 20240910-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2024-04-25
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 31.080.99
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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