(CMA)
(CNAS)
(ISO)
(高新技术企业)
标准简介
国家标准计划《氮化铝单晶复合衬底》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位松山湖材料实验室、北京大学东莞光电研究院、北京大学、广东中图半导体科技股份有限公司。
标准基本信息
- 计划号
- 20250093-T-469
- 制修订
- 制定
- 项目周期
- 18个月
- 下达日期
- 2025-01-27
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
相近标准
- 20240138-T-469 氮化铝单晶抛光片
- 20240142-T-469 蓝宝石单晶衬底抛光片
- SJ/T 11864-2022 半绝缘型碳化硅单晶衬底
- GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片
- 20242031-T-609 氮化铝陶瓷粉体
- GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
- GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
- GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
- YS/T 977-2014 单晶炉碳/碳复合材料保温筒
- YB/T 4589-2017 单晶炉保温用炭/炭复合材料
我们的实力
部分实验仪器
合作客户
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
