半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
发布时间：2025-02-22 09:11:11
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来源：中析研究所
标准简介
国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料（包头）有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司。
主要起草人何烜坤 、刘立娜 、李素青 、庞越 、马春喜 、许蓉 、任殿胜 、王元立 、朱晓彤 、李向宇 、杨阳 、潘金平 、王书明 、赵松彬 、林泉 、李国平 、张新峰 、赵丽丽 、夏秋良 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 42676-2023
- 发布日期
- 2023-08-06
- 实施日期
- 2024-03-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
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