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标准简介

国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。

主要起草人孙永健 、刘鹏 、丁晓民 、冯亚彬 、汪青 。

标准基本信息

标准号
GB/T 37466-2019
发布日期
2019-06-04
实施日期
2019-10-01
标准类别
产品
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
31-550
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

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