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标准简介
国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
主要起草人孙永健 、刘鹏 、丁晓民 、冯亚彬 、汪青 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 37466-2019
- 发布日期
- 2019-06-04
- 实施日期
- 2019-10-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L95
- 国际标准分类号
- 31-550
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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