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标准简介

国家标准《硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。

主要起草人李静 、何秀坤 、蔺娴 。

标准基本信息

标准号
GB/T 24574-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1389-0704。

采标中文名称:Ⅲ-Ⅴ号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法。

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