微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
发布时间：2025-02-05 13:37:38
•
阅读量：
•
来源：中析研究所
标准简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司。
主要起草人陈立国 、江大白 、李根梓 、刘会聪 、蒋礼平 、刘胜 、方东明 、夏长奉 、王冰 、周维虎 、许宙 、钟鸣 、张硕 、孙旭辉 、夏燕 、娄亮 、程新利 、杨剑宏 、陈志文 、张中飞 、胡增 、商艳龙 、王阳俊 、高峰 、卢弈鹏 、袁长作 、仲胜利 、李海全 、钱勇国 。
标准基本信息
- 标准号
- GB/T 44513-2024
- 发布日期
- 2024-09-29
- 实施日期
- 2025-01-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- L59
- 国际标准分类号
- 31.080.99
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
采标情况
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。
相近标准
- 20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范
- GB/T 44515-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
- 20231775-T-339 半导体器件 微电子机械器件 第 36 部分：MEMS 压电薄膜的环境及介电耐受试验方法
- 20242019-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片
- 20243541-T-469 微机电系统（MEMS）技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法
- 20242212-T-469 微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范
- 20242840-T-469 微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
- 20242021-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法
- GB/T 44531-2024 微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
- GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
