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标准简介
国家标准计划《微束分析 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所。
标准基本信息
- 计划号
- 20232638-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 16个月
- 下达日期
- 2023-12-28
- 标准类别
- 方法
- 国际标准分类号
- 37.020
- 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
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