微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

标准简介

地方标准《微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法》由广东省质量技术监督局归口上报，主管部门为广东省质量技术监督局。

主要起草单位广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司。

主要起草人王潇潇 、韦争亮 、王海燕 、张鹏 、张洁 、程庆 、熊磊 、汪立文 。

标准基本信息

标准号

DB44/T 1527-2015

发布日期

2015-01-30

实施日期

2015-04-30

中国标准分类号

N53

国际标准分类号

71.040.01

归口单位

广东省质量技术监督局

主管部门

广东省质量技术监督局

行业分类

信息传输、软件和信息技术服务业

备案信息

备案号：47073-2015。

备案公告： 2015年第10号 。

适用范围

本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。

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