电子气体 一氧化二氮

发布时间:2025-01-31 03:47:13 阅读量: 来源:中析研究所

标准简介

国家标准计划《电子气体 一氧化二氮》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准委。拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位昊华气体有限公司西南分公司、宿州伊维特新材料有限公司、重庆同辉气体有限公司、福建优力特材料科技有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、江苏华中气体有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、中国计量科学研究院、布鲁克(北京)科技有限公司、中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、中国计量大学、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人胡迎 、谈益强 、黄加斗 、尹乐乐 、刘川 、叶颖恒 、吴攀 、吴俊睆 、栗广奉 、许胜霞 、文瞳媛 、石刻山 、吴桐 、栗鹏伟 、潘振环 、陈雅芬 、汤萍 、史兰 、寻虎 、李文博 、赵丙倩 、王蒙蒙 、陈艳珊 、吕磊 、刘丹 、孙福楠 、郭琼 、殷昊 、朱安民 、蒋昊 、葛修杰 、王见见 、侯丽莹 、吴晓良 、黄辉 、张体强 、王振 、尚柏羊 、王军锋 、何睿 、蒋宏达 、宫兵 、王大为 、张静 、赵洁 、杨扬仲夫 、何波 、唐中伟 、赖晓峰 、周鹏云 、唐霞梅 。

标准基本信息

计划号
20231001-T-469
制修订
修订
项目周期
12个月
下达日期
2023-12-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准委

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检测标准 电子气体 一氧化二氮

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